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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：ウエハを検出するセンサーについて）
ウエハを検出するセンサーについて
2023/10/17 20:19
このQ&Aのポイント
- ウエハを検出するセンサーについての質問です。
- 現在、ウエハを検出するセンサーは静電容量型センサーが主流ですが、最近の指示で制電容量センサーへの変更が必要とされました。
- 現在使用しているオムロンの反射型センサーではサイズが大きすぎるため、小型の静電容量型センサーの情報を求めています。
※ 以下は、質問の原文です
ウエハを検出するセンサーについて
2009/02/20 10:58
各位、いつもお世話になっております。
１点質問させて頂きたいのですが、
現在、ウエハを検出するセンサーは静電容量型センサーが主流であると
聞きました。
現在、６φのウエハがカセットに入ってきたのを確認するセンサーを
オムロンの反射型センサー（EE-SY672）を使用しています。動作確認
を行い、正常にウエハの検出が可能であることを確認しましたが、客先
から制電容量センサーに変更が可能であるように指示されました。
そこで同じオムロンから静電容量センサーの有無を調べたのですが
E2K-X4ME1(静電容量ｾﾝｻ)が一番小型でした。
現状のユニットにはこれでも大きいので使用できません。もっと小型の
静電容量型センサーを使用した経験がおありのかた、サイト名など
教えて頂けないでしょうか？
宜しくお願い申し上げます。
以上です。
質問者が選んだベストアンサー
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2009/02/20 16:38
回答No.1
フォトセンサーでもやっていますよ。
CCD用のデバイス工程等の一部を除いては。
カセット（キャリア）に入ったウエハを一度に確認する
櫛歯Typeのセンサもあります。
確か、オムロンにもあったかな？
キーエンスさんか山武さん等で、ウエハの枚数確認センサ
の資料を入手すると判ります。
また、事情をセンサメーカーに話しますと、ユーザー名は
教えてもらえませんが、他社の使用方法を教えてくれますよ。
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お礼
2009/02/23 09:16
良い情報ありがとうございます。