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厚膜抵抗体がカタログ値の2倍になる理由とは?
2023/10/18 23:17
- 厚膜抵抗体がカタログ値の2倍になる理由を知りたい。
- 印刷、レベリング、乾燥、焼成のプロセスを経て、厚膜抵抗体はカタログ値の2倍になる。
- 導体と抵抗体が重なった部分の変色問題にも対策が必要だ。
厚膜抵抗体が必ずカタログ値の2倍になる理由が知り…
2012/07/24 11:57
厚膜抵抗体が必ずカタログ値の2倍になる理由が知りたい。
タイトルの件につき詳細は以下の通りです。
□プロセス
印刷⇒レベリング⇒乾燥⇒焼成⇒完成
□スクリーン版仕様:抵抗ペーストメーカー推奨
□印刷条件:抵抗ペーストメーカー推奨条件
□印刷後膜厚:抵抗ペーストメーカーカタログ値通り
□レベリング条件:抵抗ペーストメーカー推奨条件
□乾燥条件:抵抗ペーストメーカー推奨条件
□乾燥後膜厚:抵抗ペーストメーカーカタログ値通り
□焼成プロファイル:抵抗ペーストメーカー推奨条件
□焼成後膜厚:抵抗ペーストメーカーカタログ値通り
□検証内容
プロファイルを変更⇒ピーク温度,ピーク時間を各方向に変更してTRYしましたが、抵抗値が上がる方向には動いても下がりませんでした。
■その他に気になる点
導体(銀パラ)と抵抗体が重なった部分のみ黒く変色してしまいました。
乾燥後の時点では変色はないです。焼成条件を変えても変色は改善できませんでした。
導体が金であれば変色はしませんでした。
厚膜に詳しい方や厚膜の経験が豊富な方からのアドバイス等お待ちしております。
回答は厚膜に詳しい方や厚膜の経験が豊富な方からのみとします。
回答 (4件中 1~4件目)
今回の問題が発生した、抵抗ペーストのシート抵抗はどの値ですか?
100[Ω/□]以下では抵抗値が高くケースが有ります。
このケースでは原因が焼成に起因するは少なく
?印刷時の条件が悪くスクリーンメッシュのワイヤー跡がレべリングされず
に抵抗に残りクラックとなり抵抗値アップとなる。
裏面より光を入れて顕微鏡で観察すると判ります。
?抵抗ペーストの保管が悪く、使用時に十分攪拌されないことで金属部と
ガラスが分離して容器の上部のガラスが多い所を使うことで抵抗値が高
くなった.
逆に100[kΩ/□]以上では抵抗値が低くなるケースが多発します。
「厚膜抵抗体が必ずカタログ値の2倍になる」
を見落としていました。
「導体(銀パラ)と抵抗体が重なった部分のみ黒く変色してしまいました。」
の文面より想像すのはこのペーストが海外メーカーの物でシート抵抗は10[Ω/□]ではこのレンジでは抵抗値が2倍になるのは普通です。
対策はメーカーの知っているはずですが?
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この質問は投稿から一年以上経過しています。
解決しない場合、新しい質問の投稿をおすすめします。
結局使わなかったがトリミング工程を見聞きした情報から、私は抵抗ペーストの素の精度は10%程度と頭にインプットしてます。
>プロファイルを変更⇒ピーク温度,ピーク時間を各方向に変更してTRYしましたが、抵抗値が上がる方向には動いても下がりませんでした。
上記程度のバラツキの範疇では?
>メーカーのプロセスで作製してもらいましたが、抵抗値が2倍になるという同じ結果になりました。
なら合っている!。結果を信用して使えば問題ないとの見解は出てこないのでしょうか?
メーカーの品番間違いカタログ書き間違い、、どうも頼りない印象を受けてしまいます。
この焼成は酸化雰囲気で行うのでは? ならば無酸化には出来ない。
>導体(銀パラ)と抵抗体が重なった部分のみ黒く変色してしまいました。
導体が金であれば変色はしませんでした
金で抵抗が変わらなければ変色は原因ではなく付録的現象。
銀の変色は硫黄分が悪さをしているとの想像はできます。
>回答は厚膜に詳しい方や厚膜の経験が豊富な方からのみとします。
そりゃ高望み。。。投稿検索で『厚膜』をご覧あれ。
NCネットだから専門家は下心あるヒトを含めポチポチ程度。そもそも競争相手が気安く教えて呉れると思います?
>貴殿が示しているプロセスのオーソリティーではありません
= 焼成が酸化雰囲気なのも知らず、物理・化学ダメダメなのにSEMI経験を振回し迷惑掛けまくりの °素人。
これと同一視して欲しくはないが・・・・
とにかくギモンなのはペーストメーカの姿勢。再現試験を経て何の見解も示せないなんてことは有り得ない。
再出です。
小生は、貴殿が示しているプロセスのオーソリティーではありません。
ですから、詳細なアドバイスはできません。
小生は、半導体関係の経験があり、半導体プロセスに関しては多少知識があります。
でも、電気屋でも電子屋でもなく機械屋です。
さて、半導体プロセスで、酸化膜管理は重要な要因の一つです。
例えば、コンタクト抵抗に影響を及ぼすからです。
抵抗値が2倍の抵抗計算は、どのようなプロセスでおこなっているかが重要です。
現実の製造プロセスに合っていない(コンタクト抵抗等を考慮していない)抵抗計算と
なっている可能性が高いです。
ペーストメーカーに依頼する際に、酸化膜を極力抑える手法(O2を除去したN2中での処理等)
で依頼すると改善がみられたかもしれません。
一度、聞くだけ聞いてみたら如何でしょう。
2倍は、偶然の産物でしょう。
推測ですが、酸化作用による酸化膜に関しては、どのような管理をしていますか?
そして、どのような見解を持っていますか?
また、酸化膜を含めての接触抵抗的な内容は、どのように考えていますか?
補足
2012/07/24 16:38
回答ありがとうございます。
酸化膜の管理はしておりませんが、どのような管理方法があるのでしょうか?
酸化膜の見解は持っておりません。
ちなみに、ペーストメーカーにワークサンプルを送って、メーカーの
プロセスで作製してもらいましたが、抵抗値が2倍になるという同じ結果
になりました。
酸化膜を防ぐ方法はあるのでしょうか?
厚膜に関しては素人なので解り易くご説明頂けないでしょうか?
宜しくお願い致します。