このQ&Aは役に立ちましたか？
ポンプ上流低圧の理由と流量特性の解釈について
2023/10/21 03:40
- ポンプ上流が低圧となる理由について詳しく教えてください。
- 流量特性について、市販の調整弁の使用場所や種類によってリニア特性かEQ特性になると解釈しても良いのでしょうか？
- 質問内容の要点をまとめると、ポンプ上流の低圧の理由と市販の調整弁の使用場所や種類による流量特性について教えてください。
流量特性
2022/12/20 18:18
不躾な質問ですみません。写真に記載されている、「ポンプ上流は低圧なので」と記載されていますが、ポンプ上流はどうして低圧とわかるのでしょうか？
またこのリニア特性やEQ特性などの流量特性ですが、特に調整弁を作ろうと言うわけではないのてますが、単に市販の調整弁を組み合わせて使う場合、調整弁の使用場所や調整弁の種類によって、リニア特性かEQ特性になると言う解釈で宜しいのでしょうか？
回答 （4件中 1～4件目)
一応半導体製造装置関係の端くれの者です。
＞ポンプ上流はどうして低圧とわかるのでしょうか？
例えば真空ポンプでチャンバーを「引く」場合、チャンバーの排気側にポンプを付けてチャンバー内を真空にしますよね。
チャンバーはポンプから見たら上流側ですから上流が低圧ということになります。
言い換えれば真空装置でのポンプは「上流側を低圧にする機械」ということです。
＞調整弁の使用場所や調整弁の種類によって、リニア特性かEQ特性になると言う解釈で宜しいのでしょうか？
基本的にEQ特性を使う場面のほうが多いですが画像のようなミニフローラインに使うのであればリニア特性のほうが適しているという事です。
言い換えると使う場所に応じてEQ特性かリニア特性のバルブを選定して使う、ということです。
このQ&Aは役に立ちましたか？
この質問は投稿から一年以上経過しています。
解決しない場合、新しい質問の投稿をおすすめします。
https://yuruyuru-plantengineer.com/control_valve-flow-characteristics-eq-linear/
「EQ％特性が選定される場合」
「リニア特性が選定される場合」
って書いてあるじゃん？
