極細径の加工について

弊社でマシニングで加工可能です。SCM420では板厚1.00mmにφ50μm、LD=20を加工しています。

微細穴加工方法としては，ドリルによる切削加工，微細電極を用いた放電加工および超音波加工が多いかと思います．一番試しやすいのはドリル加工です．この場合，超硬よりもハイスドリルの方が寿命が長いようです．どうしても工具の振れはゼロにはならないので加工によるドリルの弾性変形に対してハイスの方が適しています．できれば，スピンドルは空気静圧軸受を用いたスピンドルを用いることをお勧めします．転がり軸受と空気静圧では非定常の回転振れ精度が全然違います．同じ条件で加工して工具寿命は10倍以上長くなります．既存の機械主軸先端にアタッチメントとして装着できる物もあるので使われたらいかがでしょうか．クーラントは油性が良いです．放電の場合は電極の支持方法と回転の有無で決まってきます．電極は回転させないと穴の形状精度が悪くなります．また，電極の支持方法としては，ワイヤー状の電極を長く突き出して加工点の近傍でガイドする方法と，主軸先端から数ミリ突き出して加工する方法がありますが，後者の方が電極の支持剛性が高いので安定した加工が可能です．前者のメーカはソディックや三菱電機等，後者はポサラックス（スイス）のメーカです．アジエでもあるようですが，一般には販売しないみたいです．その他，レーザー加工としては形状精度が良い銅イオンレーザなどもありますが，イニシャルコストが高いのでやめた方が良いでしょう．

　本気でやろうとすると、結構難しいですよ。
　ドリリングの場合、Ｌ／Ｄ＝１０の工具はありません。特殊品で製作し、チマチマ加工する必要があります。
　放電の場合、φ０．０４タングステン電極でφ０．０７×１ｍｍの穴は実績がありますが、穴底の形状が無茶苦茶です。通し穴であれば問題ありませんが…

yamasakiさんの言うとおり、放電加工なら問題なく明くと思います。
切削は、条件を出すのが難しいかも（加工装置によっては・・・）
ご参考まで。

こんにちは yamasaki　です。
詳細がわからないので一般論で申し上げますが、切削、放電などで対応可能です。　穴径φ０．１、深さ１ｍｍならばＬ／Ｄは１０倍なので極端に難しい事はありません。　要求精度と穴数によっては方法を選択する　と、言ったところでしょう。