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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：純水管理法）
半導体製造工程での純水管理法とは？
2023/10/12 19:35
このQ&Aのポイント
- 半導体製造工程（前工程）で使用される純水の管理評価法を教えてください。
- 特に純水中のパーティクル数の測定法について教えてください。
- 純水中のイオンとして溶け出せるパーティクルの測定法についても知りたいです。
※ 以下は、質問の原文です
純水管理法
2001/01/18 14:33
半導体製造工程（前工程）で洗浄に純水を使用しますが、その際の純水の管理評価法を教えて下さい（有機、無機、金属）。（特に純水中のパーティクル数の測定法を：水にｲｵﾝとして溶けない物質の測定法）。ｲｵﾝとして溶け出せるﾊﾟｰﾃｨｸﾙは電気伝導率などで測定できると思われますが。
回答 （1件中 1～1件目)
2001/02/03 02:42
回答No.1
あまり詳しくは勘弁してください。
一般的には、Liquid Particle Counterでしょう。
当たり前過ぎてすみません。
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お礼
0002/11/30 00:00
toisiさんどうもありがとうございます。
詳細を書けないということは、純水管理法は各社のﾉｳﾊｳなのでしょうか？
有機・無機・金属についての管理法についても差し障りのない範囲で回答願えないでしょうか。