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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：Niの酸化膜除去）
Niの酸化膜除去方法とは？
2023/10/12 19:40
このQ&Aのポイント
- Niの酸化膜を除去する方法について知りたい
- スパッタでNiを蒸着し、導電層としてメッキする際の密着性の問題を解決する方法は？
- 塩酸を使用してNiの酸化膜を取り除くことは可能か？
※ 以下は、質問の原文です
Niの酸化膜除去
2001/11/30 00:00
スパッタでNiを蒸着し、導電層として、Niをメッキするのですが、密着性がわるいです。良くするにはどうしたらいいでしょうか？酸化膜がついてるとしたら、塩酸とか何％でとれるでしょうか？確か、Niとかは、強酸につけるとふどうたいになりますよね。誰かおしえてください。
回答 （1件中 1～1件目)
2001/12/23 07:58
回答No.1
活性化のためなら、硫酸+塩酸系統がいいかと思います。剥がすだけだと硝酸でも構いませんが。
ただ、スパッタ膜の活性化を考えておられるのなら、膜が薄すぎて無理かと思います。
問題の本質が密着性にあるのですから、スパッタ前に処理対象となっている素材のエッチングを検討すべきでしょう。表面を荒らすことで、見かけの表面積より、真の表面積を増やし、投錨（アンカー）効果を狙わないと、充分な（どこに基準があるかは別として）密着力は得られません。
一般に、表面処理の業界では、導電化するためにはスパッタじゃなく無電解めっきが使われていますが、これでは問題があるのでしょうか？
プラスチックから、プリント基板、セラミックにも適用されています。
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