クリーン度１００００の設備設計

回答遅くなり済みません。
クラス１００００であれば、電装部はカバーリングだけで十分だと思います。

クラス１００００対応の装置の設計ですよね。
１．モーターやシリンダなど駆動部を作業面からできるだけ遠ざけること。
２．その部分をカバーで覆う。ユーザーに排気ダクトでクリーンルーム外へ引いてもらう。クラス１００００なら、自然リーク程度の気密性でいいと思います。
３．作業面はＳＵＳか、鋼板焼付け塗装。（静電気対策が必要かどうか注意。）
４．作業面を覆う場合は上部に小型のＨＥＰＡユニットを取り付ける。（ＳＳ－ＭＡＣ）
５．作業面を覆うカバーは制電対策品を使用しましょう。（タキロンなど）
６．納入前には徹底的にきれいに清掃。切子などが残ってはだめ
７．完成時に一度パーティクルカウンターを借りて、発塵数のチェックをすると次回の参考になると思います。

装置の形状や構造、容積、内容などにもよりますが、部品を囲ってその内部を吸引する方法と、必要なスペース内を加圧（クリーンエアー）する方法の２種類の方法があります。
す。通常のクリーンルームは後者です。

ちなみに発塵部品を囲って吸引する場合、その装置を設置する場所はクラス10000（ご質問の条件の場合）以上のクリーンルーム内と言うことが条件になります。

クリーン度がそれほど高くないので、装置の方はあまり神経質にならなくても良いと思います。一番塵埃を持ち込むのは人間なので、部屋の広さと常時中で作業する人数や出入りの頻度の方が大きく集塵の方法や装置の必要能力に影響すると思います。

モーター、シリンダー、ベアリングなどクリーン仕様の物が出ています。

各社の部品のカタログに載っているはずです。

大きい部品は、クリーン仕様で特注になる物もありますが、小さい物でしたら例えばオリエンタルモーター（モーター）やＳＭＣ（シリンダー）などは標準でクリーン仕様の物があります。
ベアリングは納期がかかると思いますが、クリーン仕様で依頼すれば入手可能です。

エアーパージすれば普通の部品でも使えない事はありません。

以上ご参考まで。