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半導体のオーミック電極材料

2002/01/23 20:25

GaAs基板の半導体でのオーミック電極材料として一般的なものに、AuGe/Niがあります。
(1)この電極材料としてはAu、Ge、Niが適している
ということ、
(2)AuとGeの最適の割合(2つありますが、先に発表されている報告の方)
という二つのことは特許になっているそうです。
この特許の内容を見る方法はないのでしょうか。(特許がとられたのは昭和50年より前です。)
以前、ネットで見ることができないか試してみたのですが、どうしても閲覧できませんでした。
また、どうして(1)、(2)が良いかの内容を詳しく知っていらっしゃる方が
いらっしゃいましたら教えていただけないでしょうか。よろしくお願いします。

回答 (1件中 1~1件目)

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