ＩＣチップって・・・

Question

初歩的な質問かもしれませんが
ＩＣチップって水に濡れても平気ですか？
また、ＩＣ内にパッケージされているシリコンや回路も水に濡れても平気なのでしょうか？
腐食されちゃったりとかするんでしょうか・・・

もしするとなると腐食の無い溶液みたいなもの（洗浄液）あるんでしょうか？

ご存知の方いましたら教えて下さい
宜しくお願いします

Accepted Answer

下にアドバイスしたものです。
「水＝腐食」で誤解を招くと駄目なので補足します。
水で腐食するのは、その中に入っているＣｌイオン等
の腐食を促すイオン・物質が入っている為であり、それらをイオン交換、フィルターで除去した「超純水ｏｒ純水」であれば腐食しません。
また、純水は「ハングリーウォター」と呼ばれ、物質を溶解する力を備えています。この場合溶解するといっても金属を溶解するのではなく、有機物質等（油等）と解釈して頂ければと思います。従って、アルコール等の揮発性溶剤を用いることが出来ないＩＣ単品の洗浄には最適ですが、以下のデメリットもございます。
１：純水製造機器が必要であること。
２：純水は絶縁抵抗が高く、半導体等にそのまま使用すれば、静電破壊を招く。

静電破壊を回避するには、炭酸ガスを純水内へ流入に
比抵抗値を約０．７１．０Ｍオームで管理すればＯＫですが、これもＣｏ２バブラーの自動制御装置が必要でしょう。＝つまりは投資が必要

純水洗浄後は、ウエハー状態であればスピンナー＆Ｎ２ガス噴射で乾燥可能ですが、単品ということなので
Ｎ２ガス高圧噴射で十分かと思います。
用途によって「完全性」を求めるのであれば
Ｎ２ガス雰囲気内のキュア炉で乾燥も良いかと
思います。温度は７０℃１００℃程度で結構でしょう。ちなみにＩＣ自体は前工程製造で数千数百度
後工程では、ワイヤーボンディング法で２００３００℃での状況下で製造することからも水を乾燥させる
程度の温度ではＳｉは無論　ＩＣの配線自体の破壊も
発生しません。（ＩＣ自体動作するだけで発熱しています。水を乾燥させる程度の温度で破壊するならＩＣ
に問題があるでしょう。・・・先ず無いですが）
質問内容から察するに
「ＩＣ単品での洗浄」「揮発性溶剤は使用しない」
と解釈されますが、ＩＣ単品とは、ウエハーダイシング後、ＩＣの単品なのか？それとも　ＩＣをその後
リードフレーム等にアセンブリ後の状態でしょうか？

ＩＣ単品であれば、ダイシング時の洗浄で申し分ないでしょう。
（逆にウエハーダイシング後でＩＣへの不純物付着が
ある様であれば、ダイシング洗浄方法の見なおし及び
ウエハー製造前工程側の改善が急務と考えます）
アセンブリ後であれば、洗浄は困難である
と思います。但し、ドライ洗浄（プラズマ雰囲気）
での洗浄方法も以前　ＳＡＮ○Ｏで出していたかと
思いますが、ＩＣへのプラズマダメージがありますので好ましくないでしょう。

内容的にも手洗浄インライン化での自動化と察しますので、あまりそういった用途の装置は聞いたことがございませんので、洗浄メーカーへカスタム依頼するか
もしくは、自作で製造するかの道になる様な気がします。

いづれにしても、どの様なプロセスであるのか？
何故洗浄を必要とするのか？
もう少し具体的にご開設頂ければ、参考になるかは
わかりませんが、内容によってはアドバイス可能と
思います。

ちなみに無責任な回答ですが、来月には
セミコンショーが開催されますから、そちらへ
出向いて色々と見聞するのも良いかもしれません。
http://events.semi.org/semiconjapan/V40/index.cvn?

Answer

ＩＣ単体（チップ）及びＰＫＧ共に「水」を大変嫌います。∴水に濡らすことは好ましくない。

先ずＩＣチップですが、ＩＣの配線に使用されている
Ａｌは、両性であり　酸にもアルカリにも弱い特性を
有しています。又、イオン化傾向が高く、従って、一般的に市水とよばれる「水道水」等に濡らせば、含有しているＣｌイオンによって短時間で腐食してしまいます。又、アルコールと一口に言っても多様にありますので一般的には、以下が適切と考えます。

（水系　洗浄液）
・超純水等　イオン交換及び不純物を除去した水。
（有機溶剤系）
・ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）等

次にＰＫＧについてですが、ＰＫＧに使用されている
モールド樹脂はエポキシが含有されており、吸湿しやすい特性を有しています。通常室温保管であっても
夏場などの高温多湿環境下においては約２０００時間
において飽和する場合もあります。
又ＰＫＧには界面が存在する為、その部分から内部へ
水分が浸透します。
この際の浸透液中にＣｌイオン等のハロゲン物質が
存在すればＩＣが腐食しますので、水道水で洗浄するのは、よろしくありません。

ＰＫＧ洗浄の場合は、ＩＰＡなどが適切かと判断します。

Answer

内部の回路が壊れます。
ＩＣの種類にもよりますが、内部温度１２５１５０℃位で、内部のボンディングワイヤが外れたり、チップそのものに障害が発生します。

Answer

基本的には、内部は、水に濡れても平気ですが、#1さんがお答えの様に、端子部が錆びてきます。
洗浄には、エチルアルコールの様の様な物が良いでしょう。
後、水に濡れた場合などは、７０℃位の乾燥炉に入れて水分を蒸発させると良いですが、余り温度が高すぎると、ＩＣ内部が熱で壊れますのでご注意を。

Answer

錆びますよ！！
洗浄液はアルコール見たいな物と
考えれば良いんじゃないですか？？
（本当に真剣な質問なのかしら？）

ＩＣチップの水に濡れても大丈夫？腐食の心配はある？