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締切済み
※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：ITO基板の洗浄）
ITO基板の洗浄について
2023/10/13 07:28
このQ&Aのポイント
- ITO基板の洗浄にはUV/オゾン洗浄機と酸素プラズマ洗浄機が利用されます。
- UV/オゾン洗浄機は、UV光とオゾンによって表面を浄化し、有機物や微小な不純物を除去する効果があります。
- 一方、酸素プラズマ洗浄機は、高エネルギーの酸素プラズマを用いて表面を浄化し、静電気を取り除く効果があります。
※ 以下は、質問の原文です
ITO基板の洗浄
2003/08/12 19:38
透明電極ITO付ガラス基板の洗浄機選択で迷っています。UV/オゾン洗浄機と酸素プラズマ洗浄機それぞれの利点・欠点はなんでしょうか？
回答 （1件中 1～1件目)
2003/11/01 00:15
回答No.1
下記先にお聞きしたらと思います。
asia1040@mercury.plala.or.jp
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