このQ&Aは役に立ちましたか？
1人が「役に立った」と評価
ベストアンサー
※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：シリコン基板への穴あけ加工）
シリコン基板への穴あけ加工
2023/10/13 20:32
このQ&Aのポイント
- シリコン基板にフライスでバカ穴をあける方法や使用工具について教えてください。
- 他の機械でのシリコン基板の穴あけ加工法も知りたいです。
- シリコン基板への穴あけ加工における注意点やトラブル事例などを教えてください。
※ 以下は、質問の原文です
シリコン基板への穴あけ加工
2004/07/08 18:33
シリコン基板（金属シリコン）にフライスでバカ穴をあけたいのですが、可能でしょうか？使用工具・加工法などを教えてください。
また、他の機械での加工法もありましたら教えていただきたいと思います。
質問者が選んだベストアンサー
ベストアンサー
2004/07/12 20:13
回答No.1
こんばんは。
シリコン基板は硬度が高いですから通常の金属を加工するような条件では出来ません。
穴をあける場合はだいたい、1500020000回転でダイヤモンドコーティングされた工具を使います。
また、穴の大きさにもよりますが送りは0.1mm/minくらいの相当遅いスピードとなります。
潤滑油も特殊な物になりますから、通常の金属を加工しているフライスの場合油を全部入れ替える必要があります。
出来るならばセラミックやガラス加工などを得意としている業者に出されるのが一番だと思います。
下記urlを参考にしてください。
http://www.daico.co.jp/japanese/
http://www.biwa.ne.jp/~kancera/
このQ&Aは役に立ちましたか？
この質問は投稿から一年以上経過しています。
解決しない場合、新しい質問の投稿をおすすめします。
お礼
2004/07/13 08:24
ご回答ありがとうございます。
投稿したあとに工具メーカーにも問い合わせをいたしましたが、Lonさんのアドバイスとほぼ同じでした。
今回は、お断りする事にしました。
ありがとうございました。