形状測定方法について

レーザー変位計でしたら、オプテックスという京都の会社のが革命的に安いのを出して来てますが１μｍは残念ながら無理です。キーエンスのレーザー変位計でもリニアリティが悪いので絶対精度は出ません。
　また、忘れてはならないのはスポット径です。測定結果はその径内の平均値ですので細かいのが必要なら、接触式でスタイラス先端の小さいのがいいですね。非接触が前提なら光触針です。ミツトヨ（ステージはユーザ手配）やその他のメーカが出してます。
　ヘッドだけなら安いので２００万くらいです。
具体的な形状が分かればもっと詳しく相談に乗れます。
　以上。

キーエンスのは共焦点顕微鏡の高級なタイプです。
測定面積がおそらく数百ミクロンの限られている
事と、対物のＮＡの関係できつい凹凸は測定できません。価格も１０００万円以上です。
　１ミクロンというのは繰り返し精度ですか、絶対精度でしょうか。どんな測定方法でも、繰り返しで１ミクロンは非常に厳しいです。
　ワークの全体形状によってどんな測定がいいのか異なります。まずはもう少し詳しく教えて頂いた方が皆さん考え易いと思います。究極的には松下のＵＡ３Ｐなどの原子間力顕微鏡の精度が最高ですが、ワークの形状によりますし、もっと安く簡単に測りたいですよね。

レーザー顕微鏡というのがありまして、多分それでうまくいくのでないかと思います。
キーエンスとかで扱っています。