物の表面に付着している水分量を測定する方法

水分量の測定ですが，ワークの形状等を考えますと，重量変化で計測するのが良いのではないかと思われます．
概略の説明をしますと，水分は100℃以上で蒸発しますので，ワークを天秤の上に載せ重量を計測し，赤外線ランプ等で加熱し，一定時間後の重量を計測し，加熱前と加熱後の重量変化を計算し，水分量を算出します．
ワーク１個あたりの水分量というよりは，ワーク全体に対し，何％水分が含まれるかというデータになります．
専用の水分計もありますが（URL参照），簡単に測定するのであれば，ワークの重量をまず測定し，乾燥機等に入れ，水分を蒸発させ（ワークを乾燥），乾燥後の重量を迅速に測定する事でも可能ではないかと思います．（測定精度が高い場合や水分量が極めて微量な場合は向かないと思いますが）

重量を測定することで水分量を確認することは出来ると思います。

＞現在困っているのは、この部品を製品処理に掛ける際
高真空下で処理するのですが、排気時間が安定しま
せん。そこで疑っているのが、表面に付着している
水分量なのです。

　真空にするために，真空ポンプを使用されていると思いますが，真空ポンプ又は配管に問題は考えられませんか？　高真空ですから，潤滑油や冷却水は使用していないと思いますが，たとえば，ポンプの表面温度にバラツキがあれば，排気能力が変わります。

　恐らく，計算式はないと思います。また，今回の場合，水分量は数ｍｇ以下と推測できるので，素人は計測できないような気がします。

　検査機関に依頼されたらどうでしょうか。日産（自動車会社）系列の検査機関に依頼して，水分量を計測してもらったことがあります。