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水がつかない処理方法
2023/10/14 08:32
- 水がつかない処理方法はありますか？半導体関係の装置では、水の問題が発生しています。結露で発生した水がウェーハに汚染するという問題があります。水が最初から付着しない方法を考えています。
- 半導体関係の装置で水の問題が発生しています。結露で発生した水がウェーハに汚染するという問題があります。水がつかない処理方法をご存知ですか？
- 表面処理技術において、半導体関係の装置で起こる問題として、水の付着があります。結露で発生した水がウェーハに汚染するという問題があります。水がつかない処理方法をご教示ください。
水がつかない処理はないでしょうか？
2005/08/04 23:47
半導体関係の装置では、水等に関して、非常にシビアです。
現状、ミスト状の水が、ある部品の裏側に付着し、そのミストが溜まって水になり、真下にあるウェーハに落ち汚染するといった問題が発生しています。結露で発生した水が下にしたたり落ちるといったイメージでしょうか？どうにかならないでしょうか？
そこで、水が最初から付着しなければよいのではと考えたのですが、なかなかアイデアがでてきません。
カテゴリーは表面処理技術＞その他にしていますが、どんな方法でも結構です。
なにかアイデアがあれば連絡お願いします。
回答 （4件中 1～4件目)
対象物を選ばず親水性効果を発揮できる セラミック表面加工が
あります。
テスト依頼をされてみてはいかがですが?
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アルミの陽極酸化技術で熱伝導性と熱放射・吸収の良い加工と、熱放射・吸収のみ良い加工をセレクト出来る技術が有ります。それと撥水性または親水性の機能を合わせる事により何か解決の糸口が見つかるのでは。
お礼
2005/08/08 10:52
キジネコさん
アドバイスありがとうございました。
アルミの陽極酸化技術は、まったくの視野外だったので、
いろいろ、可能性があるかもしれません。
ありがとうございました。
クリーンルームに繊維はご法度なのは承知しておりますが
植毛加工
http://www.sanko-chem.co.jp/flock.htm
http://www.sumitomometals.co.jp/news/news/2000/2000-12-18.html
なんらかの方法でミストを吸収してしまうのは？
お礼
2005/08/08 10:49
lumiheartさん
アドバイスありがとうございます。
植毛加工も一案としてあったのですが、
・ミストを吸収しても、飽和した時が心配。
・パーティクルの心配
でまだ、検証にいたっていないところです。
ただ、実際にやったわけではないので、
まだ、検討の余地はあるかと思います。
ありがとうございました。
毎度ＪＯです。
>>結露で発生した水が下にしたたり落ちる
これを防止するなら、結露防止のために周囲の空気の温度を上げる
外部より、乾燥空気を送るなど
水が下にしたたり落ちるなら、ある部品の裏側（この部品は固定せれていますか？）
表面張力で水滴になるから、超親水性の加工をすれば、水滴になりにくいのでは？？
お礼
2005/08/08 10:44
JOさん
アドバイス有難うございました。
超撥水は試したのですが、
超親水というのは初耳でした。
是非、検証してみたいと思います。
ありがとうございました。
お礼
2005/08/08 10:54
セラミックさん
アドバイスありがとうございます。
セラミック表面加工があるとは、知りませんでした。
是非、テストしてみたいと思います。
ありがとうございました。