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締切済み
※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：マイナス１０℃に冷却した薬液に使えるﾊﾞﾙﾌﾞ）
マイナス１０℃に冷却した薬液に使えるバルブはどこで手に入る？
2023/10/14 21:19
このQ&Aのポイント
- 半導体製造装置に使用されるフッ酸等の混合液を－１０℃に冷却し、処理槽に自動的に供給するための装置を依頼されましたが、この温度で使用できるバルブを見つけることができません。
- 装置の要件として、メタルフリーで構成されており、フッ素等の耐薬品樹脂製のバルブが必要です。
- マイナス１０℃に冷却した薬液に使える適切なバルブについて知っている方がいらっしゃいましたら、教えていただけないでしょうか。
※ 以下は、質問の原文です
マイナス１０℃に冷却した薬液に使えるﾊﾞﾙﾌﾞ
2006/10/06 14:56
困っています。半導体製造装置に使われるフッ酸等の混合液を－１０℃に冷却して処理槽に自動的に供給できる装置を依頼されました。輸液回路を構成したいのですがこの温度で使えるバルブが見つかりません。メタルフリーで構成しなければならないのでフッ素等の耐薬品樹脂製のﾊﾞﾙﾌﾞになります。ご存知の方教えていただけないでしょうか。よろしくおねがいいたします。
回答 （2件中 1～2件目)
2006/10/07 02:48
回答No.2
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2006/10/06 18:41
回答No.1
Swagelok®の次世代PTFE®のバルブは、用途にかないませんか？
半導体製造ライン専用に開発された高価なバルブです。
バルブ・チューブ継手と言えば・・・と言われるほど有名なブランド（米国製）です．
一度、ご照会なされてみたらいかがでしょうか？？
お礼
2006/10/07 12:03
そのメーカーの継手はよく使っております。そのようなﾊﾞﾙﾌﾞを販売しているとは知りませんでした。調査不足でした。さっそくのご案内に感謝いたします。ありがとうございました。
お礼
2006/10/07 11:54
さっそくのご回答感謝いたします。常温での回路はどうにかしてきましたが全く手がかりがなく困っておりました。ありがとうございました。