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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です(原文:ガス窒化+TiNとプラズマ+TiNの密着性は?)

ガス窒化+TiNとプラズマ+TiNの密着性は?

2023/10/15 01:19

このQ&Aのポイント
  • ガス窒化+TiNとプラズマ+TiNの密着性について知りたい。
  • 複合処理したガス窒化+TiNとプラズマ+TiNの効果の違いが気になる。
  • ガス窒化+TiNコーティングとプラズマ+TiNコーティングの基板と薄膜の密着力を比べたい。
※ 以下は、質問の原文です

ガス窒化+TiNとプラズマ+TiNの密着性は?

2006/05/18 15:01

はじめまして、
外人の学生です。
最近薄膜の本を読みましたが、
分からないところがあります。

ガス窒化+TiNコーティングと
プラズマ+TiNコーティングと
両方とも複合処理で、その効果はどこが違います?

それぞれ基板と薄膜の密着力の比較は
どれが良いのでしょう?

皆さんにお願いします><

回答 (1件中 1~1件目)

2006/05/22 08:36
回答No.1

ガス窒化:白層(脆性層)が残り、表面が荒れるため、ラップが必要。
 窒化層は厚く出来るため、母材強度は上がり、高面圧用途に対して
 密着性がよく見える。
プラズマ窒化:白層(脆性層)が残は少なく、表面が荒れるため、
 ラップが必要。
白層(脆性層)を残りをなくすには、ラジカル窒化がよいとされている。

上記は、材質・使用環境により、大きく変わります。特に、この分野は
熱処理屋、コーティング屋のノウハウになるため、詳細は明記されて
いないので、これらの専門屋に相談が必要でしょう。
 

お礼

2006/05/26 10:12

ありがとうございました<(_ _)>
私は外人で、今うちの国の技術はそれほど進んでいないようです、
ガス、イオンぐらいのようですね;;

もっといろいろなことを知りたいから、
日本、薄膜の本を手に入れました。
また、勉強します。
本当にありがとうございました。

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