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半導体用シリコンのドープ材判別

2007/09/03 16:15

シリコン廃材（ルツボ残・インゴットのトップ＆テイル）などに含有している
ドープ材の種類を判別する方法を探しております。
ボロン、砒素、燐、アンチモンの種類を限定したいのですが、
簡単な測定では、難しいでしょうか。

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回答 （1件中 1～1件目)

2013/10/09 02:14
回答No.1

サイズが充分あるインゴットならば
Ｘ線解析や電子線マイクロアナライザで同定できます。
装置がある施設に依頼すれば、数日で結果が出ますが
半導体ドープ程度の濃度だと10万円単位でとられるかも。

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