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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：半導体用シリコンのドープ材判別）
半導体用シリコンのドープ材判別方法を探る
2023/10/15 11:19
このQ&Aのポイント
- シリコン廃材に含まれるドープ材の種類を判別する方法を探しています。
- ボロン、砒素、燐、アンチモンの種類を限定したいのですが、簡単な測定は難しいでしょうか。
- 半導体用シリコンのドープ材を特定するための効果的な手法を教えてください。
※ 以下は、質問の原文です
半導体用シリコンのドープ材判別
2007/09/03 16:15
シリコン廃材（ルツボ残・インゴットのトップ＆テイル）などに含有している
ドープ材の種類を判別する方法を探しております。
ボロン、砒素、燐、アンチモンの種類を限定したいのですが、
簡単な測定では、難しいでしょうか。
回答 （1件中 1～1件目)
2013/10/09 02:14
回答No.1
サイズが充分あるインゴットならば
Ｘ線解析や電子線マイクロアナライザで同定できます。
装置がある施設に依頼すれば、数日で結果が出ますが
半導体ドープ程度の濃度だと10万円単位でとられるかも。
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