このQ&Aは役に立ちましたか？
締切済み
基板の微細加工
2007/02/18 10:57
ガラス基板で実験用のスリット状の電極を作ろうとしています。
求められている条件は次の通りです。
１．電極間スキマは、５～２５μｍ±５％（目標は５μｍ）。
２．電極の断面は、機械で加工したような直角でエッジが付いた断面が欲しい。
３．ガラス基板には多少のキズが付いても構わない。
このような加工は出来るのでしょうか？
よろしくお願いします。
後からダイサーで溝を入れたり、
予めスリットの部分にパターン(電極)が付かないようにマスキングをしたり、
・・・と、何通りか方法があるようです。
この質問は、一旦締め切らせていただきます。
回答 （1件中 1～1件目)
2007/02/18 13:24
回答No.1
ガラスに溝を入れるような加工と考えていいのでしょうか。
このQ&Aは役に立ちましたか？
この質問は投稿から一年以上経過しています。
解決しない場合、新しい質問の投稿をおすすめします。
補足
2007/02/18 20:40
できたら、パターンだけに５～２５μｍを作りたいのですが、
ガラスに多少の溝やキズがついても構いません。
よろしくお願いします。