このQ&Aは役に立ちましたか？
締切済み
※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：AuSnスパッタ膜のエッチング）
AuSnスパッタ膜のエッチング
2023/10/16 05:25
このQ&Aのポイント
- AuSnスパッタ膜をエッチングする方法はありますか？
- WETエッチングにはどんな薬液が使用できますか？
- AuSnスパッタ膜のエッチングにおすすめの薬液は何ですか？
※ 以下は、質問の原文です
AuSnスパッタ膜のエッチング
2008/07/25 15:09
AuSnスパッタ膜をエッチングしたいのですが、
WETエッチングする場合、どんな薬液でエッチングが可能なのでしょうか？
回答 （1件中 1～1件目)
2008/07/26 14:31
回答No.1
エッチングの仕様は、
＊ 表面をなめらかにする
＊ マスクをした後に、マスク材とAuSnのエッチング選択比にて
エッチング加工する
等々がありますが、どれに該当しますか？
以上を含めて、半導体製造メーカーに、ケミカルを納品している会社に
相談した方が良いでしょう。
エッチングレートは、濃度や温度管理が必要で、且つ微小異物混入もＮＧ
なら、供給も含めて相談した方が良いと考えます。
このQ&Aは役に立ちましたか？
この質問は投稿から一年以上経過しています。
解決しない場合、新しい質問の投稿をおすすめします。
