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締切済み
※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：CVD ローディング トレイの材料）
HT-CVDのローディングトレイの材料にMoを使っています
2023/10/16 14:20
このQ&Aのポイント
- Moを使用する理由は、1000℃までの加熱後に熱変形がなく、加熱-冷却過程に不純物の影響がないからです。
- しかし、Moは高価なのでコストダウンできる材料を探しています。
- 皆さん、お知恵をお貸しください。
※ 以下は、質問の原文です
CVD ローディング トレイの材料
2008/02/22 10:40
HT-CVDの ローディング トレイの材料にMoを使っています。
トレイはモリブデン板加工品です。
Mo使用の理由は
１．１０００℃までの加熱後、熱変形が無い。
２．加熱―冷却過程に不純物の影響が無い。
ところが、Moは高価なのでコストダウン出来る材料を探しています。
皆さん、教えて下さい。
２．加熱―冷却過程に不純物の影響が無い。：”不純物が出て来ない。” です。
回答 （1件中 1～1件目)
2008/02/23 22:39
回答No.1
1000℃なら、インコネルなどのNi基超耐熱合金でしょう。
しかし、これらが少量で発注出来るのか確認が必要と思います。
セラミックスなら、炭化ケイ素 SiCとか窒素ケイ素 Si3N4などもっと選択肢が拡がり、しかも作り方を考えると、金属よりも柔軟に対応してくれる可能性があると思います。
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お礼
2008/02/25 10:09
岩魚内 さん、アドバイス有り難うございました。
大変参考になりました。