このQ&Aは役に立ちましたか？
締切済み
※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：ウェハーサイズUPによる対応について）
ウェハーインチUPに伴う後半工程の装置対応について
2023/10/17 15:49
このQ&Aのポイント
- デバイス生産の後半工程において、ウェハーインチUPが行われることがあります。
- ウェハーサイズの変更に伴い、後半工程の装置も対応が必要となります。
- 同様のケースを経験した方からの情報を求めています。
※ 以下は、質問の原文です
ウェハーサイズUPによる対応について
2009/05/28 13:54
デバイス生産の後半工程を担当しいるものなのですが、
VEの観点よりウェハーインチUPがなされます。
5インチ→6インチ（ウェハー）
上記インチUPに伴い後半工程(DB→WB)においても装置対応が必要となり
改造が必要となりました。
今後の対応の参考にしたいので、同様のケースを体験した方がおられましたら
お聞かせ頂きたく。
回答 （1件中 1～1件目)
2009/06/12 07:42
回答No.1
このご質問では何に困っていて何を知りたいのかが読み取れません。
そのため回答される方がいないのではないでしょうか？
もっと具体的にご質問された方がよろしいかと思います。
このQ&Aは役に立ちましたか？
この質問は投稿から一年以上経過しています。
解決しない場合、新しい質問の投稿をおすすめします。
