「半導体ウェハ」と「被処理基板」の言葉の使い方

Question

「半導体ウェハ」にレジスト液を塗布してから加熱する処理工程などにおいて、ある文献で、「半導体ウェハ」という言葉ではなく、「被処理基板」という言葉が使われているのを見ましたが、「半導体ウェハ」と「被処理基板」とは、ほぼ同じとみてよいでしょうか?
「基板」というと、「半導体チップ」の中にある「基板」(シリコン半導体基板)を思い浮かべますが・・・
「基板」には、「半導体ウェハ」を含むような広い意味で使われる場合もあるということでしょうか?

Accepted Answer

場合によって使い分けているように思います。
科学的な内容を記述する文献では、一つの文献の中で、同じ用語は同じ意味で使うことが
基本的な作法です。
ウェハは、半導体のインゴットをスライスした円盤状の薄い板を表すことが一般的と思い
ます。基板（基盤）は、半導体の機能を作るための平面状の基礎部分であって、ウェハを
そう呼ぶ場合もあると思います。ウェハ上に半導体プロセスを施し、細かくダイシング
した細片（チップ）であっても、その基礎部分を基板（基盤）と呼びます。しかし、ダイ
シングした細片を、ウェハとは呼ぶことはありません。

Answer

「被処理基板」という言葉自体を聞いたことがありません。
何もしていなウェハを「生ウェハ」、工程中のは「ウェハ」と言ってました。
半導体製造工程は、数百以上の工程があることも多いので「被処理基板」では　なんのこっちゃか全く分からないと思います。
特定名でいう場合には（ウェハ抜き取り指定などするときは）
「プロセス名＿製品型番＿ゲート１レジストベーク後ウェハ＃０１」
みたいな指定でないと、「被処理基板」などの名称では全く意味が通じません。

Answer

＞ある文献で、
誰が書いた文献なのでしょうか？
それと原文は英文とかじゃあ？

ウエハ業界の事はあまり存じ上げないのでアレですが
工作機械業界、産業機械業界、プリント基板業界では
加工処理対象物の事をすべからくワーク（Work）と呼びます
日本国内だけでなく海外でも同様
https://www.nabeya.co.jp/jig/work-fixing.html
https://www.p-ban.com/others/vol35.html

産業機械業界でも輸入機械の和訳マニュアルには
ワークを「加工作業」って誤訳してたりする

ウエハ業界でもやはりワーク（Work）と呼ぶなら
ウエハも基板も同じWork

以下憶測
新人翻訳者「先輩！この場合のWorkってどう訳せば良いですかぁ?」
先輩翻訳者「意訳すれば、被処理基板かなぁ？」

意訳する事なくカタカナでワークってすれば問題なかったのに

半導体ウェハと被処理基板の違いは？