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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：透明石英ガラス気泡について）
透明石英ガラス気泡について
2023/10/17 21:43
このQ&Aのポイント
- 透明石英ガラスは高純度容器として使用され、気泡含有量が低いことが望まれます。
- 気泡が含まれていると不純物が気泡内に入り込む可能性があるため、気泡を避ける必要があります。
- 透明石英ガラスは半導体などの材料を保持するために使用されるため、高い純度が求められます。
※ 以下は、質問の原文です
透明石英ガラス気泡について
2009/01/23 15:00
一般的に、半導体等材料等を保持するための高純度容器に使用されている透明石英ガラスは気泡含有量が低いことが望まれます。なぜでしょうか？気泡が含まれていると不純物が気泡内に入り込むということでしょうか？ご回答宜しくお願いします。
回答 （2件中 1～2件目)
2009/01/28 18:58
回答No.2
遅くなりました。他の回答者さんの記述にもありますが、半導体の工程に
熱拡散炉があります。MAX1200℃での使用です。石英ガラスに溝を切って、
ウエハを成立させた石英ボードは、ウエハの径より3mm程度大きくします。
それは、シリコン（ウエハ材料）と石英の熱膨張率が異なる為、シリコン
の伸び代を確保する目的があります。話しは少しそれましたが、気泡の
膨張も非常に大きく内圧が高くなります。また、石英の強度も低くなり、
クラックの原因になるが、一番大きな要因です。
その次に、見た目や貴殿の記述で、感覚的に汚れているや不純物がある
のでは？です。
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2009/01/27 11:22
回答No.1
熱膨張率が違うので保持材としては歪みが大きくなるからでは？
