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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：半導体レーザーの解析方法について）
半導体レーザーの解析方法について
2023/10/18 18:49
このQ&Aのポイント
- 半導体レーザーの解析方法をご教授ください
- 半導体レーザーチップの故障箇所の解析方法を知りたい
- 半導体レーザーの構造観察方法について教えてください
※ 以下は、質問の原文です
半導体レーザーの解析方法について
2011/02/17 20:18
半導体レーザーの解析をしたいと考えております。
構造は、D:1100μm W:200μm H:約110μmのチップです。
故障レーザーチップ内部(レーザーが発光する部分)の構造を確認したのですが、これまで実施した実績がなく、解析方法についてご存じの方がいらっしゃれば、ご教授頂けないでしょうか。
LDの構成は、下記となっております。
?基台 ?n-AlGaAs層 ?n-GaAs層 ?GaAs層（基台）?n極（Au）
(?と?の間に発光層があります）
?の層を平面で観察したいと考えております。
GaAsなので、薬品でのエッチングは難しそうなのですが。
回答 （1件中 1～1件目)
2011/02/18 23:33
回答No.1
質問の内容からしすると平面観察は無理ですね。
層の厚さとエッチレート比から考えて加工歩留が取れないでしょう。
質問の内容からはどういう解析をしたいのか不明だしね。
断面解析なら簡単にできるのに。
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