真空炉における水分の影響と対策

「真空炉」使用某ユーザーで下記検討中。
　?　窒素ガス発生装置：５０Ｎｍ３／Ｈ　純度：９９．９９％
　※　上記に水素添加して窒素純度ＵＰ、但し、マスフローで窒素量に変動
　　　して自動調整。
　　　また、残存水素を処理するとコスト高になる為未処理で使用を希望。
　?　水素使用量
　　　　50（Nm3/H）×0.01(%)÷100×2(H2）×1.2=0.012（Nm3/H）
　　　　0.012×1000÷60＝0.2(Nl/min)
　?　窒素ガス中の残存水素
　　　上記添加水素量の約20%は残存します。
　　　従って、0.012×0.2÷50（Nm3/H）×100=0.0048%)=48(ppm)
　?　露点
　　　露点は、結局100ppmの酸素に水素がくっついて、200ppmの水分が加算
　　　されます。
　　　従って、－30℃（大気圧露点）が相当となります。

　上記の場合「真空炉」に与える悪影響は有るでしょうか？
　有るとすればどの様な影響でしょうか？
　また、その場合の対策は如何でしょうか？
　他に「水素」自体は「真空炉」に影響は有るでしょうか？
　ご教授よろしくお願い致します。
　ご回答お待ちしております。