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締切済み
※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：真空蒸着について）
真空蒸着でアルミニウムを蒸着する際のタングステンボートの腐食について
2023/10/20 17:20
このQ&Aのポイント
- 真空蒸着でアルミニウムを蒸着する際、使用したタングステンボートが腐食する事象が発生しました。
- この腐食は何らかの反応によって引き起こされたものであり、原因として考えられるのはタングステンとアルミニウムの間での反応です。
- タングステンボートは高温に耐える性質がありますが、真空蒸着の過程でアルミニウムがタングステンと反応し、腐食が進行してしまった可能性があります。
※ 以下は、質問の原文です
真空蒸着について
2021/01/06 21:54
アルミニウムを真空蒸着させる際にタングステンボートを使用したのですが、蒸着後タングステンボートがボロボロに腐食していました。これはどういった反応が起きているのでしょうか？
回答 （1件中 1～1件目)
次のURLの文献には、溶融アルミニウムは、他の物質との反応性が大きいため、アルミニウムと耐火物金属（＝タングステン）とが反応して（金属間）化合物を形成しながらボート自体が破損されることか記載されています。参考になさってください。
http://www.ekouhou.net/%E6%8A%B5%E6%8A%97%E5%8A%A0%E7%86%B1%E3%83%9C%E3%83%BC%E3%83%88%E5%8F%8A%E3%81%B3%E3%81%9D%E3%81%AE%E8%A3%BD%E9%80%A0%E6%96%B9%E6%B3%95/disp-A,2006-506533.html
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お礼
2021/01/08 01:01
ありがとうございました！