多結晶金属合金薄膜の抵抗増加について

＞リードの酸化によるものか区別できなく

問答無用でリードの酸化による抵抗増加を実測するだけの話でしょ？
推定ではリードの酸化による抵抗変化はミリオーム単位と思うが？

多結晶金属合金薄膜抵抗体でなく普通の銅板とかにリード線貼り付けて
熱処理炉に入れるだけじゃん？

それとも実測できない理由でもあるのでしょうか？
実測するのに莫大な経費が掛かるとか？
実測するのは別会社なので指令系統的にムリとか？
質問者さんは多重派遣、熱処理炉運転員も別系統の多重派遣とか良くある話

大気雰囲気なら熱処理炉なんて大げさなものでなくとも
半田ゴテで十分再現可能なんだけど？

勤務先でなく自宅ででも再現実験可能だよ　＜ 今日中に結果出せるよ

>>測定系のバラツキ
電気系の測定は、多くの場合「レンジの○％」という形で測定精度を掲げる測定機が多いです。よって、もし200Ω、500Ω、1000Ωでそれぞれ測定レンジを切り替えているなら、抵抗値に依存して測定の精度が低下するとはいえます。

ただ測定のばらつきというのはそんなに安定して出ないものなので、同一ワークを複数回測定しても値が変化しないなら、測定誤差は除外してもいいのではないかとおもいます。
逆に204Ω、198Ω、205Ω、195Ωのようにばらつくなら、測定側の精度問題が懸念されます。

＞リードの酸化によるものか区別できなくなって困っています。
記載なさった現象から推測すると、多結晶金属合金薄膜抵抗の抵抗値が変化している可能性が高そうに思います。
リード線の断面及び長さはどの程度なのでしょうか？例えば、リード線の抵抗値が20Ω増加するとしたら、リード線の断面厚さがどれほど減少（酸化による断面欠損）するか試算してみれば、ある程度見通しを立てられるのではないでしょうか。

＞測定系のバラツキは一定量あると考えられますが、抵抗値に依存して測定系のバラツキも大きくなるのでしょうか
測定系の原理次第ですね。バラツキと書いていらっしゃいますが、測定値の不確かさと表記した方が適切なように思います。繰り返し再現性の問題であれば、複数回繰返し測定して統計処理すれば、バラツキは圧縮できます。最も注意が必要なのは、抵抗値200Ω、500Ω、1000Ωの測定において、全部を同一レンジで測っているかどうかと思います。