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フッ素ゴムの貼り付き
2023/10/20 06:32
- フッ素ゴムを使用したシリコンウェハの指示部が洗浄後に貼り付く現象が発生しています。
- メタノールでフッ素ゴムを拭いたところ、シリコンウェハが貼り付くようになりました。
- どのような原因が貼り付き現象の発生に関与しているのか、詳しい説明をお願いします。
フッ素ゴムの貼り付き
2019/12/18 20:13
シリコンウェハの指示部にフッ素ゴムを使用しています。
そのフッ素ゴムを洗浄のためメタノールで拭いたところシリコンウェハが貼り付くようになりました。
どの様な現象で貼り付きが発生しているか説明頂ける方、おりますでしょうか？
よろしくお願いします。
回答 （4件中 1～4件目)
フッ素ゴムでよく使われているFKMはメタノールがアウトだそうです。
フッ素ゴム単体をメタノールで拭いてみてはどうでしょう？
https://www.packing.co.jp/GOMU/GOMU1/fkm.htm
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汚れが取れて ピタッとくっつく
クーロン力と呼ぶのか 未着部が真空になってはっついてるのかは知らない
清掃度が必要な分野みたいなので 表面を荒らすのが効果的
しゃもじの凸凹
https://search.rakuten.co.jp/search/mall/%E3%81%97%E3%82%83%E3%82%82%E3%81%98+%E3%81%94%E9%A3%AF+%E3%81%8C+%E3%81%A4%E3%81%8B+%E3%81%AA%E3%81%84/
もしかしてヘッドがバイトンゴムとかの真空ピンセットの話をしてる？
ウェハというよりチップやダイになったものをハンドリングするようなやつ。
http://www.furoro.jp/hsys/attachment.htm
残念ながらヘッドは消耗品ですのでエア吹きしても汚れてたら交換です。
支持部？指示部？
それだけの情報では、解決は難しいかと思います。表面にコーティングしてあった潤滑剤か樹脂層が除去されたのでは？
一般的にフッ素ゴムは耐アルコール性あるはずですし、もともと貼り付き性もあるはずです。
https://kayo-corp.co.jp/common/pdf/rub_proof.pdf
補足
2019/12/19 11:43
ご回答ありがとうございます。
指示部では無く支持部材です。
シリコンウェハを金属に触れないように八点ほど金属との間にいれクッションの役割をしております。
表面にはコーティングも潤滑剤も樹脂層もないものです。
アルコールに耐性があることは知っていたので、アルコールで拭いたのですが、貼り付くようになったので質問させて頂きました。
補足
2019/12/19 18:42
ご回答ありがとうございます。
フッ素ゴムは元々貼り付くことは分かっていたので、表面を梨地にしてあります。
それでもアルコールで拭くと貼り付きます。
今回は対策では無くどのような原因で貼り付くのかを知りたいです。