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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：半導体関するスピンコタ質問）
半導体関するスピンコタ質問
2023/10/20 15:19
このQ&Aのポイント
- 半導体の工程でスピンコタする際の膜の厚さを計算する方法について知りたいです
- 必要なデータやパラメータを使用して、半導体の膜サイズを計算する方法について教えてください
- 半導体のスピンコタにおける膜の厚さ計算について、具体的な手順や知識を教えてほしいです
※ 以下は、質問の原文です
半導体関するスピンコタ質問
2020/09/11 08:14
こんにちは、
半導体の工程でスピンコタする時ウェイハの上に生成する膜の厚さを計算したいですが
なんのデータが必要しパラメータを使って
膜サイズを計算する方について知りたいです
何もわかりませんがどうぞよろしくお願いします！！！！
質問者が選んだベストアンサー
基本パラメータは、
レジスト密度
レジスト粘度
表面張力
スピン加速度
ですが、それだけでは全く通用しません。
そもそもスピン加速度は一定ではありませんし
レジストも時間とともに移動変形して行きます。
まずは
https://www.eee.kagoshima-u.ac.jp/~watanabe-lab/misc/%e3%82%b9%e3%83%94%e3%83%b3%e3%82%b3%e3%83%bc%e3%83%88.pdf
あたりから読まれてみてはいかがでしょうか。先は長いです。
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