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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：結晶方位と耐食性）
結晶方位と耐食性についての質問
2023/10/20 23:17
このQ&Aのポイント
- 結晶方位の違いにより、腐食のスピードや腐食する方向が変わるのかを調査中です。
- 関連する論文を見つけることが難しいですが、結晶方位と耐食性の関係についての情報を探しています。
- 結晶方位が腐食に与える影響について、具体的なデータや研究結果を調査しています。
※ 以下は、質問の原文です
結晶方位と耐食性
2022/02/11 12:23
結晶方位の違いにより、腐食のスピードだったり、腐食する方向は変わるのですかね。
論文を漁ってるのですがなかなか見つかりません。どなたか助けてください
回答 （5件中 1～5件目)
回答(3)追記です。
「原子密度が高いほうが腐食しやすく、原子密度が低い方がしにくい」
私は逆のような気がするのですが、違っているかも知れないので、確認のため文献を教えて下さい。
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この質問は投稿から一年以上経過しています。
解決しない場合、新しい質問の投稿をおすすめします。
ウェットエッチングにおいて結晶面方位により腐食溶解速度が異なることを利用する「異方性エッチング」という手法があります。
実用化事例としては。とりあえずTEM用液中観察ツール“K-kit”があります。
シリコン事例の参考文献
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj1989/51/8/51_8_754/_pdf
https://ocw.nagoya-u.jp/files/315/kazuo-sato.pdf
取り急ぎ、露払いになれば・・・・
過去のQ&A：
https://okwave.jp/qa/q9837448.html
文献の例：
https://www.jstage.jst.go.jp/article/jjspe/77/2/77_2_162/_pdf
補足
2022/02/11 14:51
一通り読んでみたのですが、、
一番近いと思ったのが、原子密度が高いほうが腐食しやすく、
原子密度が低い方がしにくい。
みたいなのしか出ないです。
簡単にでいいのでなぜ変わるのか教えていただきませんか？？