超臨界流体の洗浄装置について

私は、現在超臨界流体を用いた装置開発を行っております。
精密部品の洗浄には、超臨界二酸化炭素を用いる場合がほとんどです。
その理由といたしましては、二酸化炭素の臨界温度が31℃程度なので、精密部品に与える温度の影響を最小限に抑えることができます。しかし、臨界圧力が7.4MPaなので圧力で影響がでる部品に対しては、使用できないかも知れません。この方法の利点は、超臨界二酸化炭素自体細かい隙間にも入り込める性質を持っているので、水も入り込めないような隙間の汚れも取り除くことが可能です。また汚れと二酸化炭素は減圧操作で分離することが可能なので取扱が大変簡単です。
しかし、実際に装置を使用する場合、取扱法規の問題があります。
処理量によっては、高圧ガス保安法の特定設備になってしまうので、官庁の申請が大変です。
もう少し詳しい情報が必要でしたら、連絡してください。

御要求の超臨界流体ではありませんが、
オゾン水を利用して洗浄というのはいかがでしょうか？
もしも、情報必要でしたら、またご連絡下さい。