シリコン加工条件を確立するための加工技術とは？

品物を加工する再に、冷却冶具（液体ガス冷却）を取り付ければ、
既存の装置での加工が可能です。
冷却媒体として、液体窒素や、炭酸ガスなどが割と安く手に入ると思います。その媒体を少量ずつ加工面に吹き付けながら加工すれば大きさに係らずに既存のマシニングで加工出来ます。
（水溶性切削油はかけません→凍結してしまいます。）
冷媒噴射装置（冶具）の製作承ることも出来るとおもいます。
ただ、寸法精度が厳しいものでは、凍結加工すると、
解凍後の寸法と熱膨張分の誤差が生じます。おきお付けください。

最も簡単な方法では、エアゾール式（フロン１３４ａ等対オゾン対策ガス）スプレーを直接かける方法もあります。
（－４０度位は出せると思います。）
通常４００ｃｃ位の缶で１，５００円位で売ってます。
冷却専用の物とエアーダスターと２種類ありますが、エアーダスターは、逆さに使えば液体で噴射します。
下記ＵＲＬによりご連絡頂ければ、安く仕入れる事も出来るかもしれません。（噴射用治具等の製作もいたします。）
http://www.ctktv.ne.jp/~s-nomura/public.htm
以上よろしくお願いします。

高速スピンドルを使用すれば加工可能だと思います。
（30,000rpm以上）
シリコンを冷凍状態で加工出来れば、
さらに面粗さを小さくすることが出来ます。
（冷凍だけでも効果は、かなり期待できます。）
ご参考まで。