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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：蒸着前の基板の洗浄方法）
ガラス基板の洗浄方法とは？アルミ蒸着の前処理に注目！
2023/10/13 13:36
このQ&Aのポイント
- ガラス基板にアルミを蒸着しフォトレジストを塗布し、現像、エッチングを行うためには、蒸着前の基板の洗浄が重要です。
- アルミの膜が剥れてしまう原因は、蒸着前の基板の洗浄不足が考えられます。
- アセトン、エタノール、純水(超音波洗浄)を使用して洗浄することが一般的ですが、適切な洗浄方法を選ぶことが重要です。
※ 以下は、質問の原文です
蒸着前の基板の洗浄方法
2004/12/15 16:53
ガラス基板にアルミを蒸着しフォトレジストを塗布し、現像、エッチングをしたいと考えています。
一通り作業を行ったのですが、現像の際にアルミの膜が基板から剥れてしまいました。
これは蒸着前の基板の洗浄が問題ではないかと考えています。
どなたかガラス基板の良い洗浄方法をお教えください。
現在私はアセトン、エタノール、純水(超音波洗浄)で洗浄しております。
よろしくお願いします。
回答 （1件中 1～1件目)
2006/09/20 21:25
回答No.1
ガラス基板に対する純水(超音波洗浄)洗浄は、一般的な方法ですが
超音波洗浄については、誤解や誤った情報が多いように思います
適正な超音波（周波数や出力 等）を有効に利用すると十分に洗浄が行えます
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