真空容器の真空到達時間

　「真空ゲージで達成真空度を検知→真空遮断用電磁弁閉」というシーケンスでしょうか。そうだとすれば，検知後弁を閉じるまでの時間（遅れ時間）を短縮できればいいのかもしれません。遅れ時間は実測できそうですね。

　遅れ時間が例えば0.5秒であれば，真空ゲージの検知する到達真空度を0.5秒分だけ低く（真空度を80Paのように）設定すれば，遅れ時間をなくすることができます。

お礼

2004/09/09 22:25

SOLバルブを開いて真空引きを開始してから、真空ゲージで真空度到達を確認後、検査を開始するというシーケンスですが、どうやら真空ゲージのレスポンスが付いてこないようです。ですので、ご指摘とは逆に、200Paくらいで真空到達とみなすことで時間を短縮できそうです。
もうすこしテストを続けます。回答ありがとうございました。

質問者

> できれば市販品があれば助かるのですが・・・

真空タンクで検索すればヒットすると思います。
（小型のものは、心当たりがありません）

真空ポンプからＳＯＬバルブまでの配管の断面積（ホース径）を大きくすることでも同じ様な効果を出すことができると思います。

装置の改造は検討されていないのでしょうか。現状が１列であれば４列くらいを同時に真空引きする構造にすれば、現状の３秒でも問題ないと思うのですが・・・。（多少、時間は延びるかも知れませんが。）

お礼

2004/09/09 22:29

ご指摘ありがとうございました。
配管は、太くしたり細くしたり長くしたり短くしたり色々と試しましたが、劇的な変化はありませんでした。装置の搬送系が対応できないので、やはり１列にて実施するほかなく、もう少しテストを継続します。真空ゲージのレスポンスが悪そうなので、こちらもテストしてみます。

質問者

１秒以下ということであれば、予備タンクを設置するのが一般的と思います。
ポンプと目的容器の間に容量の大きなタンクをいれ、このタンクを
あらかじめ目的の圧力以下にしておきます。
目的容器と予備タンクの間の弁を開ければ、ごく短時間で目的の
真空度にすることができると思います。

お礼

2004/09/09 00:07

お答えありがとうございました。
やはり予備タンクが必要でしょうか？
ただ、１０から２０秒後には次の容器を真空にする必要があるので、次はタンク内の真空到達時間が問題になるかもしれません。予備タンクの容積をどうやって決めるか、悩んでいます。

質問者

　より大型の真空ポンプにすれば，真空到達時間を短くできますが，３秒を１秒にはできないような気がします。１０秒を３秒にはできるかもしれませんが，引き始めて瞬時（１秒）という条件が厳しいのです。電磁弁の開閉だけで１秒は経ちそうです。

　できるだけ時間を短くする方法は，次のとおりです。
? 大型の真空ポンプを使う。
? 真空ポンプは連続運転して，電磁弁の切替えで容器の交換を行う。
? 電磁弁は，開閉時間のできるだけ短いものを使う。

　３秒を１秒にすると，作業能率が３倍になるのでしょうか？　量産においては魅力的ですね。具体的な使用方法や状態が判れば，よい方法が見つかるかもしれません。

お礼

2004/09/09 00:02

２００Ｌ／ｍｉｎもあれば十分と考えたのですが、甘かったです。
真空チャンバー内で放電効果のテストを連続で実施するのですが、タクトタイムが短いため、真空到達時間をできるだけ短縮したいのが目的です。
ポンプは連続運転で、CKDのHVB41というSOLバルブ２ケで真空と真空破壊を切り替えています。
真空ゲージはクリスタルゲージなるものを使用していますが、レスポンスの影響などはあるのでしょうか？
色々テストをしていますが、やはり1秒は難しいようです。

質問者