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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：ノッチとオリフラ）
ノッチとオリフラの意味とは？
2023/10/13 22:19
このQ&Aのポイント
- ノッチとは、半導体（ウエハー）の加工時に切り欠かれた部分を指します。ウエハーには複数のチップを配置するため、ノッチが存在することで各チップの位置を特定することができます。
- オリフラとは、半導体の製造工程で使われる機械のことを指します。オリフラはウエハーを保持し、加工する役割を果たしています。ウエハーが正確に配置されることで、精密な加工が可能になります。
- ノッチとオリフラは、半導体の製造工程において重要な役割を果たしています。ノッチはチップの位置を特定し、オリフラはウエハーの保持・加工を行います。両者の存在により、高品質な半導体製品の製造が可能となっています。
※ 以下は、質問の原文です
ノッチとオリフラ
2004/06/03 08:50
よく半導体（ウエハー）の用語で、ノッチやオリフラというのをよく聞くのですが、何を指しているのか教えて頂けないでしょうか？
回答 （2件中 1～2件目)
2004/06/07 10:13
回答No.2
オリフラとは，「オリエンテーション・フラット(orientation flat)の略です。OFとも書きます。
どういう風につけるのか？は，参考URLをご参照下さい。
OFもしくはノッチがついているウェーハはどんな形状なのか?は，こちらを。
http://www1.ocn.ne.jp/~raichi/test/test1/test1.html
なぜつけるのか?
ウェーハは単結晶をスライスしたものです。なので，結晶方位をわかるようにするための目印としてつけています。
通常ミラーポリッシュされている側が表なので表・裏の区別は簡単ですが，両面とも仕上げの加工が同じ場合は，区別がつかないので，第二オリフラを90°の位置につける，などして区別することがあります。
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2004/06/03 16:04
回答No.1
オリフラはウエハー外周で一箇所直線になっているところで、
ノッチは直線ではなく、昔の電車の切符のようにキザミを入れた物で、そのキザミのことのようです。
http://www.compoclub.com/electric/sensing20.html
お礼
2004/06/07 12:04
わかりやすい説明をして頂き、ありがとうございました。
たいへん参考になりました。
お礼
2004/06/07 12:03
詳細な説明をして頂きありがとうございました。
たいへん参考になりました。