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締切済み
※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：半導体製造装置、ステッパーとアライナーの違いにつ…）
半導体製造装置、ステッパーとアライナーの違いについて
2023/10/14 13:31
このQ&Aのポイント
- 半導体製造装置の中でも、ステッパーとアライナーは異なる役割を持っています。
- ステッパーは半導体の製造工程で使用され、集積回路の微細なパターンを露光する役割を担っています。
- 一方、アライナーは露光されたパターンを微調整する役割を持ち、製品の品質を向上させる役割を果たしています。
※ 以下は、質問の原文です
半導体製造装置、ステッパーとアライナーの違いにつ…
2005/04/14 17:31
半導体製造装置、ステッパーとアライナーの違いについて
半導体製造装置、ステッパーとアライナーの違いについて
教えてください。
また、ステッパーの専門書、参考書等がありましたら
教えてください。
宜しくお願いします。
回答 （1件中 1～1件目)
2005/04/14 18:36
回答No.1
ステッパーとアライナーの違いは下記URL(2004年5月6日の項)にあります。
マスクに描かれているパターンを転写するという機能は同じですが、その
方法が違います。ステッパーの方が精度が良く、立体配線を施す場合には
有効であると思います。
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お礼
2005/04/15 14:37
大変参考になるサイトを教えていただき有難うございます。
勉強させていただきます。