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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：Ｓｉ他ウエハーの仕様について）
Si他ウエハーの特性とは？
2023/10/15 03:17
このQ&Aのポイント
- Si他ウエハーについての仕様についてお尋ねします。表面仕上げやEPDについての意味が分からないため、ご教示いただきたくお願いいたします。
- Si他ウエハーのスペック表には、表面仕上げがbright etched、EPDがxx μm以下と書かれています。表面仕上げの意味やEPDの略が分からないため、詳しい方に教えていただきたいです。
- Si他ウエハーの仕様について質問です。表面仕上げがbright etched、EPDがxx μm以下と書かれていますが、これらの意味が分かりません。知識が不足しているので、教えていただけるとありがたいです。
※ 以下は、質問の原文です
Ｓｉ他ウエハーの仕様について
2006/03/16 18:12
Si，GaAs等のウエハーについてお尋ねします。
スペック表をみると、
? 表面仕上げ： bright etched
? ＥＰＤ ： xx μm以下
と書かれていたのですが、意味が分かりません。
bright は「光沢」だと思いますが、etched というとラップやポリ
ッシュじゃないんですよね。ＥＰＤについても何の略なのかさえ分か
りませんでした。
当方、半導体関係は畑違いで、職場にも参考になるような本や資料が
なく、ネット検索でも意味が分からなかったものですから、ご存じの
方がおられましたらご教示いただきたく、お願いいたします。
回答 （1件中 1～1件目)
2006/03/17 08:46
回答No.1
今後の検索のヒントになれば･･･
スライスしたウェーハを
機械的に研磨：ラッピング
↓
薬液で研磨：エッチング
↓
ケミカルメカニカルポリッシュ：ポリッシュ(ミラー面になる)
ラッピングまでで終わればラップド，
エッチングまででエッチドウェーハ。このときにかなり光沢がある状態に仕上げてある，という意味でブライトエッチドなのだと思います。
EPDはEtch Pit Density エッチピット密度
通常は，〇〇個/cm2 とかの単位なのですが･･･
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お礼
2006/03/17 09:14
ご回答ありがとうございます。
エッチングによる研磨というのがあるのですか。
先入観で、研磨はこするものとばかり考えておりました。
ご紹介のＵＲＬも参考になりました。
ＥＰＤは単位からして別の略称かと思っておるのですが･･･。