万能投影機で透明フィルムの検査はできますか？

透明フィルム＋150mm角という言葉で勝手に半導体の写真工程で使用するレチクルを想定してしまいました。寸法測定はどうか分かりませんが、ある会社に４台程導入したのですが、暗室を作って、レチクルはレチクルピックという専用のクランプ治具があってそれにクランプしたまま暗室内にセットします。
暗室の横から投影機で光を当ててペリクル表面のｺﾞﾐの確認を目視でしています。また、レチクルをセットするステージは前後にスライドするようになっていまして、ペリクル上部約２０ＭＭのところからクリーンエアーシャワーを
バルブ切り替えで出すようになっています。暗室内で舞い上がったｺﾞﾐ（極微量ですが）暗室背面でファンにより排気しており、ダクトにより集塵しています。（工場排気に接続）本ユニットは、ニコンステッパーへ投入する前工程で異物検査機でペリクル表面のダストチェックを行います。異物検査の結果ＮＧの場合にどこにｺﾞﾐがあるのかどうかを本ユニットで投光器を当てて確認及びブローをしております。本ユニットでよければ、パンフレット、を送付させて頂きます。また、ペリクルとは全く別物であれば、対象仕様にて新規設計も可能です。ご要望のユニットがが弊社の開発したユニットと類似しておりましたらご相談をお受け致します。何卒お願い申し上げます。

お礼

2007/12/25 17:31

詳細なご説明ありがとうございました。ただ自分の会社で扱っているものは、たしかにクリーンルームでの作業ではありますが、半導体製造工程のようなシビアなものではなく、エアブローなどの設備までは必要としません。ご丁寧に回答いただきありがとうございました。

質問者

初めまして…
??の出来ますかとの質問ですが、とりあえず測定は可能です。
それと、ＰＥＴ／フィルムなどを測定する時には、物を固定する
固定冶具が必要と思います。

投影機は陰の輪郭を映し出して、測定する測定機ですので実際の
寸法より+0.01mm程大きくなります。
あと、フィルムの異物を測定する時も黒色の影の為に、測定がし辛いと
思います。

出来れば、光学顕微鏡をお勧めします。

お礼

2007/12/25 17:44

なるほど、投影機は透明フィルムでも使えそうですね。寸法誤差ですが、自社の製品公差が大体±0.1mmなので、大きな問題は無いですし、常にプラス側にシフトするのなら、差し引けばいいですしね。
異物の大きさも○mm以内ならＯＫというレベルなんで、大体のサイズが測定できればＯＫです。
光学顕微鏡なんですけど、実は光学顕微鏡と投影機とどちらにしようか実は悩んでるですけどね・・・値段の関係もありまして。

とにかく良い情報が聞けました。ありがとうございました。

質問者