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締切済み
※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：ＳＥＭ観察）
ＳＥＭ観察
2023/10/15 07:23
このQ&Aのポイント
- 銅箔の表面をＳＥＭ観察しようと思っていますが、うまく見られません。
- ただステージの上に銅箔を導電テープで固定しています。
- どうしたらいいでしょうか？
※ 以下は、質問の原文です
ＳＥＭ観察
2007/11/27 15:40
銅箔の表面をＳＥＭ観察しようと思っていますが、うまく見られません。
ただステージの上に銅箔を導電テープで固定しています。どうしたらいいでしょうか？
回答 （1件中 1～1件目)
2007/11/29 18:29
回答No.1
他の試料は十分に観察できているものとします。もしそうでなければ、装置側あるいは設置環境に何か不具合があるのかもしれません。
電解銅箔の観察は私も苦労しましたが、最初から試料台を傾けてフォーカスの当たりをつけて、それから徐々に所望の角度にすると解決しました。銅箔表面が平滑なため、フォーカスをあわせるポイントが見つけられないことに由来します。傾けることで、微妙な凹凸が強調され、ポイントが絞りやすくなります。
市販の銅箔の表面に有機防錆膜とか乗っていませんか？有機物があるとチャージアップしてうまく見られません。対策としては（１）金属を蒸着する（２）防錆膜を落とす（３）加速電圧を落とす（４）低真空で観察するなどがあります。
お役に立てれば幸いです。
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お礼
2007/12/12 18:14
遅れてもうしわけありません。
非常に役立ちました。20000倍で撮れるようになりました。