メタノールが半導体デバイスの特性に影響するのか？

メタノールが半導体デバイス（トランジスタ）に付着すると電気特性が変化するので、生産ライン上で使用するアルコール類をエタノールに変更するようにと指示を受けたのですが、メタノールが影響するという根拠が無く困っております。

メチル基がトランジスタのウエハに付着すると耐圧劣化やhfeの変動が発生するという話なのですが、文献や実験データを見つけることができず、確証を得ることが出来ませんでした。また、モールド樹脂封入後でもメタノールが樹脂の成分に作用し電気特性が変化するとのことでした。（こちらも確証得られず）
これは一般的に知られていることなのでしょうか？

手元の資料とネット検索では、ウエハの微細パターンにIPAの残留ウォーターマークによる不良が発生するという事例は在ったのですが、エタノール、メタノールについての情報を見つけることが出来ませんでした。

どなたかご存知の情報がありましたら、教えていただけないでしょうか。
よろしくお願いいたします。