TMAHとSiのエッチング反応比、及び反応式につ…

2008/11/30 18:30

TMAHとSiのエッチング反応比、及び反応式について

物理･化学の初心者です。
TMAH（テトラメチルアンモニウムヒドロキシド）の２２ｗｔ％水溶液における、Si（シリコン）とTMAHのエッチング反応比は１：１と聞いたのですが、本当なのでしょうか？

Si + 2OH- + H2O → SiO32- + 2H2↑
上記のシリコンのエッチング反応式からすると、エッチング反応には２つの水酸基（OH-）が必要だと思うのですが、TMAHの化学式をみると、窒素（N）にメチル基（CH3）が４つと、OH-が一つ付いていました。
TMAH水溶液中でSiを1mol分エッチングするとしたら、TMAHは2mol必要なのでは？と思ったのですが、実際はどのようなエッチング反応比なのでしょうか？
また、TMAHとSiのエッチング反応式をご存知な方がいらっしゃいましたら、こちらだけでも教えていただけないでしょうか？

noname#230358

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noname#230359

2008/12/05 22:04

回答No.1

以前、半導体のウエットプロセス技術者をしていました。
専門は化け学ではありません。

他のアドバイスがないので、この様な内容は小生は薬液メーカーの方に
サポートして頂き、客先と折衝をしていました。

以上が簡単でありますが、化け学屋ではない者のアドバイスです。
know-howではなく、know-whoで対処を。

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