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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：TMAHとSiのエッチング反応比、及び反応式につ…）
TMAHとSiのエッチング反応比、及び反応式について
2023/10/15 21:44
このQ&Aのポイント
- TMAH（テトラメチルアンモニウムヒドロキシド）の２２ｗｔ％水溶液における、Si（ シリコン）とTMAHの エッチング反応比は１：１と聞いたのですが、本当なのでしょうか？
- TMAH水溶液中でSiを1mol分エッチングするとしたら、TMAHは2mol必要なのでは？と思ったのですが、実際はどのようなエッチング反応比なのでしょうか？
- TMAHとSiのエッチング反応式をご存知な方がいらっしゃいましたら、こちらだけでも教えていただけないでしょうか？
※ 以下は、質問の原文です
TMAHとSiのエッチング反応比、及び反応式につ…
2008/11/30 18:30
TMAHとSiのエッチング反応比、及び反応式について
物理･化学の初心者です。
TMAH（テトラメチルアンモニウムヒドロキシド）の２２ｗｔ％水溶液における、Si（ シリコン）とTMAHの エッチング反応比は１：１と聞いたのですが、本当なのでしょうか？
Si + 2OH- + H2O → SiO32- + 2H2↑
上記のシリコンのエッチング反応式からすると、エッチング反応には２つの水酸基（OH-）が必要だと思うのですが、TMAHの化学式をみると、窒素（N）にメチル基（CH3）が４つと、OH-が一つ付いていました。
TMAH水溶液中でSiを1mol分エッチングするとしたら、TMAHは2mol必要なのでは？と思ったのですが、実際はどのようなエッチング反応比なのでしょうか？
また、TMAHとSiのエッチング反応式をご存知な方がいらっしゃいましたら、こちらだけでも教えていただけないでしょうか？
回答 （1件中 1～1件目)
2008/12/05 22:04
回答No.1
以前、半導体のウエットプロセス技術者をしていました。
専門は化け学ではありません。
他のアドバイスがないので、この様な内容は小生は薬液メーカーの方に
サポートして頂き、客先と折衝をしていました。
以上が簡単でありますが、化け学屋ではない者のアドバイスです。
know-howではなく、know-whoで対処を。
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