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蒸着とスパッタの違いとは?
2023/10/16 09:23
- 蒸着とスパッタについて簡単な説明をお伝えします。
- 蒸着とスパッタは、物質を薄膜状にするための技術です。
- 蒸着は物質を加熱し、その蒸気を基板上に凝縮させる方法であり、スパッタは物質をイオン化し、基板に向けて加速させる方法です。
蒸着とスパッタの違い
2008/05/21 10:51
全くの素人です。
『蒸着とスパッタの違い』を簡単に
教えて下さい?
回答 (3件中 1~3件目)
蒸着は、熱をかけ(電子銃や抵抗線)温度を上げ成膜する材料を蒸発させ基板に堆積させます。従って、融点の高い材料は不向きといわれています。融点の高い金属などには次のスパッタが用いられます。
スパッタは、ターゲット(成膜しる材料の塊)に粒子(一般にはプラズマで生成したアルゴンイオン)を当てると、ターゲットから成膜材料が飛び挿してくる現象(スパッタリング現象)を利用しています。飛び出した材料は基板に堆積します。熱はかけていません。
成膜材料の基板へのスピード(堆積時)は、一般にスッパッタのほうが高速なため、蒸着よりスパッタのほうが膜の密着性が良いといわれています。
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http://kinoufilm.nof.co.jp/terms/
『蒸着』『スパッタ』欄を参照下さい。
より、用途的には、以下を参照して下さい。
http://www.jeol.co.jp/technical/dictionary/SEMTerms/03.htm
以上は、『蒸着』『スパッタ』『用語』検索した内容です。
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