窒化アルミの製造設備と加工方法とは？

１：焼結はどの様な設備

?金属アルミ粉を成型、窒素を反応させる方法→700℃の雰囲気炉
?窒化アルミ粉から成型、焼結する方法→1700～2000℃の高温炉

?の方が一般的なようで、昇温能力を有する炉。アルミナ焼成の1500℃程度と比較して高温。
メーカは上場会社から中小まであるので『高温炉』で検索してください。


２：加工

参考サイトの　■製品及び応用例　に工程フローの一部が載っています。
セラミックス製品一般に工程としてはパン焼き（煎餅か？）と似たような工程。この前には　原料反応、造粒、混練り　がある。

■プレス成形品 → 粒を押固める。(脆さに留意要だが機械加工も可能)
■シート成形品 → 有機物を練合わせてガム状のグリーンシートにして外形や穴をプレス抜き（パンチング加工）する。

　　　上記までがナマ状態　→　　＜焼結＞

■表面研磨加工　→　焼成では歪みが出る。これを平面に仕上げ。
下手な焼成だと仕上げ厚１mmを得るに、２mm厚から削るような不経済も有り得る。（炉の検索で?ホットプレス炉?と出てくるのは焼成中に圧力をかけて歪みを押さえる）
機械としては『平面研削盤』『ラップ盤』など。

■レーザー加工（強力光線で溶かして吹飛ばす穴あけ）
■機械加工　→　回答（2）
■メタライズ加工 → 配線材料の金属ペーストを印刷

これで、■用途にあるような基板が出来ます。


　　＝回答（1）さんの京セラの方が工程図として整ってました＝

>加工は研削、ラップ等で切削は不可、と認識していますがそれで
>よろしいでしょうか？

一般論としてはその通りです。
マニアック？な手法としては、参考ＵＲＬのような超音波振動を備えた
工作機械＋ダイヤモンド電着工具orダイヤモンドコーティング工具によ
る加工(研削＆切削)も実用化されています。

http://www.kyocera.co.jp/fcworld/first/process.html

窒化アルミに特定したものではありませんが、ファインセラミックの
製造工程の概要とそれぞれの設備の写真が掲載されています。