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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：セラミック板の洗浄に関して）
セラミック板の洗浄方法とは？
2023/10/17 18:34
このQ&Aのポイント
- セラミック板の洗浄方法について、質問させていただきます。ある半導体工程で使われるセラミック板の平坦度（研磨）を保つために、洗浄が必要とされています。経年劣化によりプローブ針の材料（銀色）がセラミック板に積層することがあり、再利用するためには洗浄が必要です。京セラによると、洗浄だけで銀色の積層を除去できるそうですが、具体的な洗浄方法については教えてもらえなかったとのことです。
- セラミック板の洗浄方法について、ご経験者の方に教えていただきたいです。ある半導体工程でプローブ針の平坦度（研磨）を保つために、セラミック板の洗浄が必要となります。経年劣化によってプローブ針の材料（銀色）がセラミック板に積層し、再利用するためには洗浄が必要とされています。洗浄方法については京セラに確認したところ、洗浄だけで銀色の積層を除去できるとのことでしたが、具体的な洗浄方法は教えてもらえませんでした。
- セラミック板の洗浄方法について、教えてください。ある半導体工程で使われるセラミック板の平坦度（研磨）を保つためには洗浄が必要です。経年劣化によりプローブ針の材料（銀色）がセラミック板に積層することがあり、再利用するためには洗浄が必要です。京セラによると、洗浄だけで銀色の積層を除去することができるそうですが、具体的な洗浄方法は教えてもらえませんでした。洗浄方法に詳しい方、ご教示ください。
※ 以下は、質問の原文です
セラミック板の洗浄に関して
2009/03/25 14:34
各位、いつもお世話になっております。
１点質問させてください。
ある半導体工程でプローブの針を、セラミック板を上下させて
針先端の平坦度（研磨）をだしているのですが、経年劣化により
プローブ針の材料（銀色）がセラミック表面に積層し、客先から
研磨をして欲しい、再利用するから・・・と。
そこで、京セラに確認し現物を見せたのですが、洗浄だけで除去
出来ました、と連絡がありました。
どのような洗浄をしたのかは教えてもらえなかったのですが、ご経験者
の方でお分かりになる方、洗浄方法を教えて頂けないでしょうか？
宜しくお願い申し上げます。
質問者が選んだベストアンサー
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2009/03/25 14:52
回答No.1
研磨をするのはセラミック板なのですね。
要するにセラミックに積層したプローブの材質を除去できればよいのでしょうか？
プローブの材質は何なのでしょうか？
それによって、除去する溶剤は決まってくるかと思います。
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その他の回答 （2件中 1～2件目)
2009/03/25 16:35
回答No.2
FeやNiなどの金属でしたら硝酸や塩酸などの酸で除去できると思います。
お礼
2009/05/26 16:50
お礼が大変遅くなり申し訳ありません。
回答有難うございました。
お礼
2009/03/25 14:57
早速のご回答有難うございます。
材料はなんなんですかね～！？
ＩＣリードフレームのようなかんじなのでFe+メッキ処理（推測）
だと思います。