２０μｍ程度の寸法基準物質について

Question

顕微鏡、拡大鏡観察にて２０μｍ程度の寸法測定をしています。

予算1万円以内で２０μｍ程度の寸法基準になる物質を紹介してください。

樹脂性のシートゲージ　⇒　顕微鏡観察の中に蛍光顕微鏡も含まれるのですが熱変形は避けたいのでシリカ系のものがいい。

電子顕微鏡メーカーから出ているガラス製ゲージ　⇒　10万円を超えており･･･
液晶モニター用スペーサー球　⇒　１０ｇ　約10万円で･･･

ためしに、精密研磨用の研磨液の粒子を見てみましたが、バラバラで見れなかったです。

Answer

>>表面粗さ標準片でいけるでしょう。

薄く切ってみるんでしょう

私も研削で20μm　の段差をつけて
薄くカット

を想像しましたが

作ってもらえば
10万位いってしまうので
素直にゲージを買ったほうが安いと思います

Answer

表面粗さ標準片でいけるでしょう。
加工面の参照用
　　http://www.uno.co.jp/seihin_info/catalog/pdf/0282.pdf
価格ピッタリ。それらしく不規則。

機器較正用は、規則正しいものがあります。
　　JIS B0659-1　測定標準-第 1 部：標準片
　　http://kikakurui.com/b0/B0659-1-2002-01.html
　　タイプ C-間隔用標準片

加工面参照用よりは高いはずが精度は確実。加工面用でも旋盤面は一定間隔の筋になってます。

Answer

超微細加工の分野では、半導体の微細加工技術を利用する「マイクロ・エレクトロ・メカニカル
・システムズ（ＭＥＭＳ）」と呼ばれる手法が主流です。
1980年代後半に米国で始まったこの手法の研究は、日本でも広がっています。
ですから、“ＭＥＭＳ　寸法基準”で検索してみても、有効な情報が得られます。

さて、“結晶格子を基準とした測長”のURLを参考にしてみてください。

Answer

とりあえず粒径スタンダードだと、５万以上は覚悟
http://www.technochemical.com/plscnss/beads/nisttrsbl.htm

研磨粒子も自分で沈殿液作って寸法分離すれば使えますが
どちらにしろ寸法リファレンスは必要。
　
寸法リファレンスとして使いたいだけならファイバー系を切って使う。
（大体±５％以下の精度）
　タングステンワイア
　グラスファイバー
　カーボンファイバー
それぞれサンプルを購入（うまくすればタダでもらえる）すれば
一生分使えます。

＞表面粗さ標準片

それは垂直方向にしか凸凹が無いので
顕微鏡視野では意味が無いのでは？

予算1万円以内で使用できる20μm程度の寸法基準物質は何ですか？