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高温下での真空炉漏れ確認方法
2023/10/18 23:27
- 真空炉での高温下での漏れ確認方法について
- 加熱中の真空炉での漏れ探しについて
- ハイテンプリークチェックの方法について
高温下での真空炉漏れ確認方法
2012/07/09 13:58
真空炉で加熱中にどこからか漏れが発生していると考えております。
常温中でHeリークチェックしましたが、漏れは無く、真空排気も問題なくできます(5.0x10-5mbarまで可能)。
その後真空排気しながら500℃に加熱していくのですが、約2.0x10-4mbarに達するとそれ以上は引いていきません。
加熱中にHeリークチェックしたいのですが、高温下での仕様にはなっておりません。
そこで加熱中に漏れを探す方法を探しております。
どなたかご教授お願いします。
回答 (4件中 1~4件目)
おそくなりましたが、エアー吸込み個所で困った事が有りました。
車のエンジンで、アイドリングが決まらず
原因は、吸気混合気マニホールドからのエア吸い・・と考えました。
さて、吸込みの個所は・・何処から?・・・さて? うるさいし
熱いし・・吸込みは気体の空気・・・・
車のエンジンのアイドリングのチューニングは排ガスの匂いで
判断します。 いい匂いだ!・・不調なら悪い臭いだ!・・
バルブステムのリップシールが逝かれていると・・排気ガスに
エンジンオイルが混じり(オイル下がり・・)白い排ガスが・・
そうです。吸込みしていそうな個所にエンジンオイルをオイラーで
少しづつ・・垂らして、排気管の排気ガスの色を監視すれば、
オイルを吸込んだら、しばらくして排気が白くなり、吸込み個所が解ります。
この厄介な車は、「労する浪費す」でした。
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設備保全の分野では知られた技術ですが
アコースティック・エミッション
http://www.netdecheck.com/emerging_technologies/ae/page1.htm
ここにもほぼ近いニュアンスの言葉がある。
抜けている小穴で音を発しているはずで、それを拾えれば箇所が特定出来るという原理です。
インスペクター400 超音波探知機
http://www.skf.com/portal/skf_jp/home/products?contentId=240077&lang=ja
超音波検知器 UL101 によるピンポイント漏洩検知
http://www.titan.jp/Japanese/products/ctrl/ctrlul101.htm
要するに聴診器なので仕掛けは簡単。超音波マイクはアキバで百円とか、あと少々のパーツと集音のためのホーンで構成、電気の知識と少々の計測器があれば組めるが、計測器としてならおそらくン十万円に化けてます。。。
聴診器とはすこし不適切だったかも。
低音というか可聴周波数はフィルターでカットし、超音波だけを取り出し更に人間に聞こえる周波数に変換して増幅したものを聴きます。
本当のところは何とも言えないが、他の機器までは影響しないはずです。
500℃に加熱していくなら、ボイル・シャルルの法則等を利用して、真空炉をゲージ圧で
若干プラス(与圧)にして、各ジョイント部分を中心に石鹸水で泡チェックはできませんか?
できないですよね、500℃に加熱ではね。
それなら、“エアーリークテスター”では、如何ですか?
500℃に加熱で、危険であれば、各ジョイント部分を中心に空気のサーモ分布を確認してみては
如何でしょう。
って具合に、若干の与圧で確認はできませんか?
負圧に耐えられるので、若干プラス(与圧)はと思ったのですが、…。
やはり、バルブ関係やゲージやセンサ等関係でのNGなのでしょうか?
> Heリークディテクターが高温仕様であればいいのですが…
に関しては、400℃程度から通電状態となるからでしょうか?
お礼
2012/07/10 21:51
ご回答ありがとうございます。
ただ、与圧にできないもので・・・。
ご要望の回答ではありませんが、
5.0x10-5mbarが、2.0x10-4mbarに低下する程度であれば、明確なリークでは
なく、温度が上がる部分からのガス放出の可能性を疑うことができそうに
思います。 ご検討の余地があるでしょうか?
念のための確認です。真空度(圧力)をmbar表記なさっていますが、
1.0 bar = 750 mmHg = 750 Torr
すなわち、1.0 mbar = 0.75 mmHg = 0.75 Torr
乱暴に近似したとき、1 mbar ≒ 1 Torrと捉えて宜しいでしょうか?
ガス放出は、相当の時間に亘って継続することもあります。
高温に保った状態で、真空装置を1昼夜以上に亘って連続運転して、真空度
の経緯を観察なさっては如何でしょうか。
Heリークディテクタを持っていらっしゃるならば、これを利用出来る
ように工夫することが良さそうに思います。
Heリークディテクタの使い方には、次のURLに示すようにいろいろある
ようです。
http://www.shimadzu.co.jp/semicon/products/mse/mse2000ro2.html
最初に紹介されている“真空吹付け法(スプレー法)”であれば、
供試機器が高温状態であっても、問題なく試験出来そうです。
お礼
2012/07/10 21:55
ご回答ありがとうございます。
確かにスプレー法でやろうと思えばできるのですが、高温になった気体がHeリークディテクターに吸われていくのが良くないと考えます。
Heリークディテクターが高温仕様であればいいのですが・・・。
お礼
2012/07/10 21:49
ご回答ありがとうございます。
静かな環境であればいいのですが、他の設備の騒音等あるもので難しそうです。