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困ってます

真空蒸着抵抗加熱式

2019/11/13 13:20

真空蒸着抵抗加熱式で蒸着可能な金属の融点は何度まででしょうか？
チタンやクロムは抵抗加熱では蒸着できないでしょうか？
又、抵抗加熱式がイオンプレーティングやスパッタよりも優れている点を教えて下さい
よろしくお願いいたします

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2019/11/13 16:58
回答No.1

少なくともチタンはチタンサブリメーション(TSP、通称ゲッターポンプ)という超高真空用真空ポンプとして、通電抵抗加熱での真空チャンバー壁への蒸着がよく行われていますね。

抵抗加熱だと
1.大容量電源があればよいので、高周波電源やガス設備の必要なイオンプレーティングやスパッタより装置が安価にしやすい
2.蒸着源の形状、配置が比較的自由
3.厚膜蒸着が行いやすい。
4.プラズマによる処理対象表面損傷が起きない。
という点がメリットかと思います。

お礼

チタンサブリメーション　初耳でした　真空引きする時間が大幅に短縮するのですね
ありがとうございました

2019/11/15 08:37

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その他の回答 （2件中 1～2件目)

2019/11/14 07:25
回答No.2

装置の真空度と金属の種類によります。融点というよりも沸点です。
真空度と金属の蒸気圧曲線から、何Paで何℃で蒸発するのか、ということがわかります。
チタンやクロムも可能です。

お礼

蒸気圧曲線というのがあるのですね、抵抗加熱でチタン、クロムを飛ばそうとするとかなりの真空度が必要ということでしょうか

2019/11/15 08:35

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