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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：半導体 マスク材上成膜）
半導体マスク材上成膜の簡単な方法と熱ダメージを与えずに観察する方法
2023/10/20 16:46
このQ&Aのポイント
- 半導体のマスク材に無傷の状態で観察するための簡単な方法として、保護材を使用した成膜があります。
- 保護材をマスク材の上に均一に塗布することで、スパッタリング反応や熱ダメージを防ぎながら観察することができます。
- この方法は経費もかからず、マスク材の樹脂を保護しながら観察するため、非常に効果的です。
※ 以下は、質問の原文です
半導体 マスク材上成膜
2020/12/23 20:50
初めての質問です。説明に至らない所あると思いますが、なにとぞご教授頂きたいです。
当方FIB加工・TEM観察業務をしております。
その際に、マスク材の解析を行うことがあるのですが、マスクに使われている樹脂を無傷の状態での観察に四苦八苦しております。
現在条件出ししておりますが、スパッタリングや、保護膜なしのSEM観察などはダメージが入りました。(SEMはおそらく観察時の熱反応によるものです)
ベストな観察としてはTEM観察ですが、それも熱が入るので難しい現状です。
何かいい方法があれば教えて頂きたく思います。
現在わかっていること
スパッタリング反応はダメージ有り
保護膜なしでのSEM観察は熱ダメージ(耐熱温度は70度ほど)
求めること
簡単な方法でのマスク材上への成膜(保護材として)
熱ダメージを与えずの観察
なるべく経費のかからない方法
すみませんがご教授願います
回答 （1件中 1～1件目)
高分子をダメージ無く加工するような都合良い解決は無理です
電子ビームはともかくFIBやスパッタとは相性悪いでしょう。
(1)線量を減らして温度上昇を抑えその蓄積(露光)時間を増やす
(2)断面解析であればメッキ処理により放熱層をつくる
などを工夫するしかないのでは？
解析の方法にもよりますが、斜めにスライスすることで
SEMでもTEMのように断面解析もできます。
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