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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：モリブデンの薄膜に微細な溝穴加工をしたい）
モリブデン薄膜に微細な溝穴加工可能か？
2023/10/20 19:27
このQ&Aのポイント
- モリブデンの薄膜（30～50um）に幅10um、長さ100umくらいの溝穴を20～30umくらいの間隔で空けることは可能でしょうか？
- モリブデン薄膜の表面に微細な溝穴を加工する方法について知りたいです。
- 技術的にモリブデンの薄膜に微細な溝穴を加工することは可能かどうか教えてください。
※ 以下は、質問の原文です
モリブデンの薄膜に微細な溝穴加工をしたい
2021/06/11 16:08
モリブデンの薄膜（３０～５０um）に
幅10um、長さ100umくらいの溝穴を、
20～30umくらいの間隔で空けることは、技術的に可能でしょうか？
可能だとしたら、どのような方法があるのでしょうか？
回答 （4件中 1～4件目)
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単位間違えてた
回答２である
弾道隊の製作法 真空蒸着と エッジング でも可能だが
直接レーザーで焼いてしまう方法も可能
https://www.hikalikk.jp/
逆に何に使うのって模索中だったはず
普通に考えるとエッチング処理になりますね。
解像度的には半導体露光の技術でやれば楽勝
液晶ディスプレイのパターン印刷技術でも可能でしょう。
ただし溝形状とか溝のばらつきとかをうるさく言い出すと
異方性エッチとか、露光補正とか面倒くさいことになり
ドンドンお値段が釣り上がる結果になると思います。
可能かもしれないが
トップレベルの企業が挑戦してる技術なので
一品ものとかでは無理 いあだ一般加工ではないので 費用はいくらかかるかわからない
プロセスルール
https://chimolog.co/bto-cpu-process/
やっと10μm を インテルが超えた
補足
2021/06/11 17:04
ありがとうございます。
教えていただいたリンク先を見ると、
ｕｍではなく、ｎｍで、別の世界かと思われます。
補足
2021/06/11 18:11
回答ありがとうございます。
エッチングなら、解像度的には大丈夫とは思うのですが、
モリブデンのような材料でアスペクト比が３～５でも
技術的には可能なのでしょうか？